50.6億發力！全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線9月量產在即

該生產線由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資建設，坐落于中國（蚌埠）傳感谷。項目自啟動以來，便吸引了業界的廣泛關注。其總占地面積約 154 畝，總建筑面積達 8.7 萬平方米，規模宏大。生產線建成后，預計月產能可達 3 萬片，這一產能規模有望使其成為國內 MEMS 晶圓產出最大的生產線之一，同時也是我國第一條 8 英寸壓電 MEMS 量產線。

目前，項目已經完成了全部設備的搬入和測試工作，正處于主要產品的工藝串線階段，預計 6 月底完成這一關鍵環節。據了解，該生產線集成了多項先進技術，具備高度的自動化和智能化水平。例如，其部署的智慧能源、數字孿生、智能倉儲等系統，配合國內首條全自動天車系統，實現了超 90% 的自動化率和近無人化生產，大大提高了生產效率和產品質量。

從技術層面來看，這條生產線聚焦于 MEMS 晶圓代工領域，致力于打造一個具有技術前瞻性與市場適配性的柔性化制造平臺。它集成了硅基 MEMS、壓電 MEMS、CMOS-MEMS 單片集成及 2.5D/3D 微系統集成等先進技術，形成了研產協同的完整體系。這種技術上的先進性和全面性，使得生產線能夠生產出多種類型的傳感器芯片，產品覆蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光 MEMS 執行器、環境傳感器、噴墨打印頭等多元領域，滿足不同行業的多樣化需求。

在市場應用方面，該生產線生產的傳感器芯片具有廣泛的用途，涉及工業、農業、醫療、車載電子以及航天航空等多個重要領域。在工業領域，傳感器芯片可用于智能工廠的設備監測與自動化控制，提高生產效率和產品質量；在農業中，可實現精準農業，通過對土壤、氣候等環境因素的監測，優化農作物的種植和灌溉；醫療領域，可應用于醫療器械，實現更精準的疾病診斷和治療；車載電子方面，為自動駕駛、智能網聯汽車的發展提供關鍵技術支持；航天航空領域，傳感器芯片對于飛行器的導航、姿態控制等起著不可或缺的作用。可以說，隨著該生產線的量產，將有力推動這些行業的智能化升級，促進相關產業的快速發展。

從產業發展的角度來看，這條8英寸MEMS晶圓全自動生產線的建設和即將量產，具有多重積極意義。一方面，它將推動我國智能傳感器產業集群向規模化、高端化發展。作為智能傳感器核心部件 ——MEMS 芯片的重要生產基地，蚌埠將逐步成為國內 MEMS 芯片制造的重要樞紐，吸引更多上下游企業集聚，完善產業鏈布局，提升我國在全球智能傳感器產業中的地位。另一方面，通過實現 MEMS 芯片的國產化生產，將有效保障產業鏈供應鏈的安全。以往，我國在部分高端 MEMS 芯片領域依賴進口，在國際形勢復雜多變的背景下，供應鏈安全面臨挑戰。而該生產線的投產，將大幅降低國內傳感器企業對進口芯片的依賴，提高本土產業鏈的自主性和抗風險能力，同時也有助于降低國內傳感器企業的生產成本，提升產品的市場競爭力。

據中國傳感器與物聯網產業聯盟常務副理事長郭源生透露，目前企業已累計與 50 家客戶達成合作意向，意向訂單總計約 21 萬片，另有 3 萬余片晶圓合同正在洽談中，這為生產線今年 9 月投產后的產能釋放提供了有力支撐，也顯示出市場對于該生產線產品的強烈需求。

全國首條 8 英寸 MEMS 晶圓全自動生產線的即將量產，是我國集成電路產業發展的一個重要里程碑。它標志著我國在 MEMS 晶圓制造技術領域取得了重大突破，將在推動產業升級、保障供應鏈安全、促進經濟發展等方面發揮重要作用。我們有理由期待，隨著這條生產線的穩定運行，將為我國智能傳感器產業及相關領域帶來更多的創新與發展機遇，助力我國在全球科技競爭中占據更有利的地位。